《表3 湿法清洗机市场份额和国产市占率测算》

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《我国半导体清洗设备国产化之关键部件市场研究》

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注:E为测算。

整个半导体工艺流程中需要反复清洗，清洗是一个比较重要的工艺过程。2017年全球清洗设备销售总额29.20亿美元，其中晶圆清洗设备市场前三名为SCREEN、东京电子和LAM，合计占据晶圆清洗设备市场87.7%的份额。据国内上市A公司年报，其2017年营收为3 650万美元，约占清洗机市场份额的1.25%，详见表3。国内清洗设备的需求在新增市场里占比超过1/3，国内下游市场新增份额最大，尤其是芯片代工厂，产能已经超过中国台湾省和韩国。海通证券2018年半导体清洗设备行业深度研究报告指出“2019年兆声波清洗机需求量为221台，如果按照SAPS清洗机平均销售价格300万美元计算，潜在市场为6.63亿美元。”