《表1 N/C-Ti O2薄膜元素质量分数》

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《脒基钛(Ⅲ)配合物制备N/C-TiO_2薄膜及其光学性能研究》

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从图6中可以看出，Ti、O、N、C元素均匀分布在薄膜中，说明350℃沉积的薄膜在石英衬底上均匀生长（其他温度下薄膜的元素分布图同图6）。N/C-Ti O2薄膜中各元素质量分数如表1所示，EDS谱图如图7所示。从表1中可以看出，钛的质量是氧的1.0～1.3倍，理论上二氧化钛中钛的质量应是氧的1.5倍，这是因为电子能量较高而薄膜较薄，检测出石英衬底中的SiO2成分，所以O元素质量分数偏高以及EDS图谱中有Si元素出峰。在沉积过程中没有引入额外的N、C源，而Ti O2薄膜中掺杂了N、C元素且随温度的升高质量分数增大，说明N、C来自配合物1，且升高温度有利于配合物1的热分解以及与氧气反应提高N、C质量分数，验证了含Ti—N键的前驱体作为单一源沉积N/C掺杂的二氧化钛薄膜的合理性。