《表1 不同设计还原炉几何参数》

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《基于数值模拟电子级多晶硅还原炉流动结构改进研究》

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原有设计的6个进气喷嘴均分在距底盘中心一定距离的圆环上，直径均为0.009 m。和原有设计相比，优化设计将直径的调整为间隔布置的直径分别为0.007 m和0.011 m两组喷嘴，两种方案的CVD还原炉模型通过Poly Sim软件3D模块建立，炉体及硅棒的物理参数见表1。