《表1 不放电阶段不同气隙间距下的的等效电容参数》

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《平行陶瓷棒介质阻挡放电分段模型等效参数预测》

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不放电阶段总的等效电容（Cch=1/kch）受外加电压变化的影响较小[10-11]，所以假定在功率调整过程中Cd-ch，Cg-ch保持不变且等于未发生放电情况下的相应值，具体数据可以通过对整个负载空间的恒压静电场仿真得到，如表1，最后一栏Cch-exp为实测的不放电阶段总等效电容，取6次平均值，下文中实验数据均是如此处理。当气隙d=4mm时，Cch的仿真误差较大，约为17.4%。该误差由实际反应器加工精度、外部固定架影响因素以及理论误差共同造成，当正对面积足够大、气隙较小时，外部固定架影响因素可忽略，总误差会相对减小。