《表1 BBD法实验设计与结果Tab.1 Experimental design and results of BBD method》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《基于响应曲面法与改进非支配遗传算法电火花线切割单晶硅工艺优化》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

以电压、脉宽、脉间、线锯速度为变量参数以及表面粗糙度与切削效率为响应结果基于RSM中BBD法设计四因素三水平共29组实验。实验采用江苏泰州机床厂定制的电火花线切割机床加工工件，直径0.18 mm的钼丝作为线锯，实验所用的材料来自立晶光电有限公司定制的直径为一英寸的P型单晶硅棒，单晶硅棒电阻率为5Ω·cm，去离子水作为电解液同时也是冷却液，完成电火花线切割单晶硅实验，具体实验设计及实验结果如表1所示。以RSM二阶回归模型为拟合模型根据实验数据进行最小二乘拟合，关于变量参数与响应结果的二阶回归方程如式（2）、式（3）所示