《表1 2种模型所需供气压力及产生质量流量》
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《液晶玻璃面板光学检测仪器气浮平台系统参数优化设计》
记正压供气方式为模型A，正负压同时供气方式为模型B，两类模型支承负载是单块液晶玻璃板时，所需供气压力与质量流量如表1。
| 图表编号 | XD003595800 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.11.22 |
| 作者 | 周杨、李程伟、徐筱波、张勇、黄斌 |
| 绘制单位 | 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院、京东方科技集团股份有限公司、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院、合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 |
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