《表1 大连光源的电子束主要性能参数》

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《大连极紫外相干光源》


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大连光源由高增益谐波产生型FEL、EUV光束线和用户实验站组成。光源的整体布局如图2所示。HGHG-FEL由电子直线加速器和FEL谐波放大器组成。在驱动激光的照射下,光阴极电子枪产生电荷量为500pC的电子束。通过前三段3m长的S波段直线加速器(A1、A2和A3),能量增加至128MeV。磁压缩器(BC)由4块二级铁组成,电子束纵向长度被压缩为初始的25%~33%,纵向分布宽度约为3.2ps。压缩后的电子束通过4段S波段直线加速器(A4、A5、A6和A7),能量增加至300MeV,峰值流强约为290A,表1为电子束的设计指标和调试阶段数值,εx、εy分别表示x和y方向的归一化发射度。高品质的电子束被送入谐波放大器中与种子激光相互作用,在下游的波荡器中谐波辐射饱和出光。HGHG-FEL波长改变是通过调谐种子激光波长(240~360nm连续可调),同时改变波荡器间隙(最小间隙为10 mm)来实现的,配合HGHG过程中的不同谐波数,大连光源实现EUV波段(50~150nm)波长连续可调。表2为光源的设计指标和调试达到的指标。