《表1 酸碱腐蚀后碳化硅颗粒颈部全元素分析》

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《高温除尘碳化硅膜的制备及其抗腐蚀特性》

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为了进一步分析碳化硅陶瓷膜在耐腐蚀性实验中与酸碱溶液的反应情况，分别对腐蚀后的碳化硅分离膜颗粒颈部进行能谱分析（图中方框），由表1中碳化硅颗粒颈部连接处能谱分析可以看出，腐蚀后碳化硅颗粒颈部所含元素为与腐蚀前碳化硅颗粒颈部的元素相比较，无新的元素产生，且元素含量没有明显变化，说明未发生显著的化学腐蚀，进一步验证了碳化硅分离膜具有较好的抗酸、碱腐蚀性能。