《表2 实验数据记录与分析》
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在感光纸上标记刻度，记录下不同电压下的光斑移动距离，相控阵列输出的光在离芯片很短距离时就发生干涉，只有几十到几百微米，因而可以认为输出端面即为干涉点所在位置，所以扫描角度可以表示为θ=arctan（L/5）（L为光斑移动距离） .实验测得的数据如表2.
| 图表编号 | XD0032848200 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.04.01 |
| 作者 | 颜跃武、安俊明、张家顺、王亮亮、李建光、王红杰、吴远大、尹小杰、王玥 |
| 绘制单位 | 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室、中国科学院大学材料科学与光电技术学院、中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室、中国科学院大学材料科学与光电技术学院、中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室、中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室、中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室、中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室、中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室、中国科学院大学材料科学与光电技术学院、中国科学院半导体研 |
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