《表1 测量结果：全感应式钢栅位移传感器设计》

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《全感应式钢栅位移传感器设计》

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本文所设计的全感应式位移传感器通过与激光干涉仪的测量结果进行比较来完成精度的测试。本论文在测试中，使用RENISHAW公司的ML10 Gold激光干涉仪，其分辨率达到了0.1μm[11]，足以对本钢栅位移传感系统进行精度测试。在测量开始时，先对激光干涉仪与磁栅位移传感器同时进行清零操作，设定激光干涉仪以5 mm为单位进行位移，逐次对上位机中读取到的系统测量值进行记录。以激光干涉仪为基准，对应点标准值与系统测量的结果采用线性拟合算法进行误差补偿[12]，并将拟合方式运用于随后的测量中。表1给出了拟合后测量的部分结果。