《表8 光片厚度公差分析值》

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《可变光片照明系统设计》

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利用Zemax软件对低、中和高扩束比的系统分别进行公差敏感度分析和200次蒙特卡洛分析，发现影响光片厚度最大的主要是透镜1的曲率半径加工误差和偏心，以及整个系统的偏心和倾斜，通过对扰动公差最敏感的这几项收缩公差值，最终得到当给定系统如表7所示公差量时，光片厚度在1×扩束比时的最大变化量小于15%，6×和10×扩束比时最大变化量在6%以下。具体厚度值变化量如表8所示。