《表2 中波红外滤光片短波通膜层厚度测量结果》

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《基于包-全法的红外滤光片光学参数测量方法》

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依据图1红外滤光片在2 000～8 000 nm谱段范围的实测透射率，采用全光谱拟合反演法和包-全法测量实际滤光片各膜层的厚度，并与设计值进行比较。测量结果如表2、3所示。