《表2 具体缺陷模式的检测结果》

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《基于人工智能的芯片表面缺陷检测研究》

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第二个实验的结果如表2所示，实验验证了提出方法判断缺陷的具体模式的准确性。实验结果显示，提出方法的平均准确率为88.41%，分别高于文献[1]和文献[2]的平均准确率86.49%、88.31%。详细分析被提出方法错误识别为包含缺陷的25个正常芯片结果，其中10个样本被识别为Donut模式，15个样本被识别为Edge-ring模式。