《表1 设计2与设计3关键参数比较》

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《I~2形原子力显微镜探针设计优化》

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其次，采用多普勒激光干涉法[10]对探针在谐振频率处的振动幅值（A0）进行测量，即可测算出探针的最小位移检测精度（Am=A0/SNR）以及力灵敏度（Fm=k·Am/Q，k为器件刚度，约1.7·105N/m），具体数据参如表1。