《表2 718橡胶模具的物理特性Tab.2 Physical properties of 718 rubber mold》

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《PECVD制备DLC复合薄膜性能及模具应用》

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本实验采用阴极电弧+辉光放电技术制备CrN/DLC薄膜，基体材料为718模具钢，沉积设备（型号ICS-04 ARC PRO）及基材如图1所示，橡胶模具主要元素含量及物理特性如表1、表2所示。为提高膜基结合性能，沉积前需对试样及模具基材进行抛光处理，然后在丙酮溶液中进行30 min的超声波清洗。烘干后，将其装夹送入真空炉腔，并将炉腔由环境压力抽至10-4 Pa，工件加热至200℃。向炉腔中通入Ar，对工件及试样进行60 min的等离子刻蚀清洗、活化及进一步清洁基体表面。在N2氛围中，采用Cr靶（纯度为99.99%），在基体表面预沉积0.2μm厚的CrN过渡层。停止加热，在C2H2（纯度为99.99%）气体环境中沉积DLC膜，具体沉积参数如表3所示。DLC涂层对于沉积温度的要求较高，高温易导致涂层石墨化而剥落。因此，涂层沉积为持续降温过程。本实验涂层厚度范围为0.7~1.4μm，DLC沉积时间分别为10、15、20、25、30、35 min。