《表1 铝互连线尺寸参数 (μm)》

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《金属互连线电迁移的影响因素》

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各组成元件的尺寸参数分别为:硅基底的厚度为5μm，Si O2绝缘层的厚度为2.2μm，铝互连线的厚度为0.88μm，其它尺寸参数如表1所示[13].此外，为尽可能模拟实际的电迁移过程，在铝互连线的两端分别添加了80μm×80μm的铝电极.各组成材料的性能参数如表2所示[13-14].