《表1 折叠梁尺寸单位：μm》

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《基于双稳态势能调节的仿生纤毛流速传感器》

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在相同风速作用下，折叠梁相比直梁产生变形更大[10]，检测电容的变化值也更大，这有利于提升传感器的分辨率。折叠梁的尺寸设置对结构刚度的影响比较大，如图3所示，d越大，固有频率越小，刚度越小，越容易变形；w越大，固有频率越大，刚度越大，越不易变形。该传感器折叠梁所选用尺寸如表1所示，可以满足传感器分辨率要求。