《表3 圆片部CAST QE的工作内容和输出内容》

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《浅谈宇航元器件质量工程师的工作制度》

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圆片部CAST QE的具体工作内容和输出内容见表3。CAST QE对CAST元器件流片过程的质量监督有效性负责；在正式流片前，从人、机、料、法、环、测等方面对整个流片过程相关的过程确认文件（Process Identification Document，PID）及技术状态要素进行复查；监督产品流片过程的质量控制情况；在流片结束后完成批次产品流片质量评价，并记录批次合格率原始数据和制作图表。