《表1 3种热量转换工艺对比分析》

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《多晶硅生产系统热量转换工艺分析》

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以上主要介绍了导热油热量回收利用工艺、高温水热量回收利用工艺、高温水回收闪蒸低压蒸汽热量利用的工艺流程及传热过程，下面将从这3种热能转换的介质成本、热能转换系统设备投资、安全稳定性、环保、热量利用率等方面加以对比，详见表1。