《表2 钝化层凸起处SEM分析结果》

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《钝化层质量问题分析研究》

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如图3所示为钝化层凸起处分析点，此处在电镜图像中呈现不规则鼓起状，边缘平滑。在增加能量后，表面开始破损，出现图中的黑色条状区域，凸起区域逐渐塌缩至图中呈现的状态。为确认此类钝化凸起的形成原因，分别采用5ke V、10ke V能量对凸起区域的氟、氯、氢含量进行分析。分析具体结果如表2所示。