《表3 不同开孔率时PERC太阳电池的电性能参数》

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《背面局域点接触对PERC太阳电池性能的影响》

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开孔区面积主要涉及激光光斑直径、激光光斑数量、实虚总长、线段长度及线段数量这些参数。由于硅片总面积恒定不变，当激光开槽图案和扩束镜保持不变时，激光光斑直径、激光光斑数量、线段长度、线段数量也将恒定不变。因此，开孔率主要与实虚总长有关，而实虚总长由虚实比和雕刻频率决定。因此，实验选取了3组硅片，每组500片，通过改变虚实比与雕刻频率将3组硅片制备成3组PERC太阳电池样品，样品编号为A、B、C。对3组电池样品进行对比实验，验证不同开孔率对电池电性能的影响，结果如表3所示。