《表3 合金拉伸性能对比：工业化双面PERC太阳电池研究》

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《工业化双面PERC太阳电池研究》

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注：SY1～SY6为表2分组试验1～6组。

每组实验的正面氮化硅膜和背面氧化铝膜保持一致，通过调节背面PECVD的工艺参数，来改变背面氮化硅膜层折射率（SY1～3）和厚度（SY4～5）。每实验组任意选取正面镀氮化硅膜和背面完成氧化铝、氮化硅叠层膜后的样品，于800℃进行退火处理后，使用SEMILAB WT2000PVN少子寿命测试仪扫描整面少子寿命[7]，如表3所示。发现双面PERC电池的正面少子寿命均值始终大于背面少子寿命均值，随着背面折射率的增加正、背面少子寿命微弱下降，而背面膜厚的减薄对于正、背面少子寿命均无明显影响。