《表1 Lamb波传感器主要设计参数Tab.1 Main design parameters of Lamb wave sensor》

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《薄膜Lamb波传感器用于胃蛋白酶原I检测》

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本文所使用的Lamb波传感器主要设计规格如表1所示。IDTs电极宽度和间距为50μm，电极厚度120nm，IDTs理论波长为200μm，氮化铝（AlN）压电层厚度为2μm。Lamb波传感器总尺寸为20mm（L）×15mm（W）×0.415mm（H），在传感器背面有尺寸为4mm（L）×4mm（W）×0.4mm（H）检测腔，检测腔薄膜厚度为7.2μm，A0模式中心频率9.3 MHz。Lamb传感器结构示意图如图1（a），实物图如图1（b）、（c），检测腔薄膜扫描电镜图如图1（d）。