《表1 不同变形位移处的测量力及其均方差和方差分量Tab.1 Estimated force, its standard deviation and variance components at va

《表1 不同变形位移处的测量力及其均方差和方差分量Tab.1 Estimated force, its standard deviation and variance components at va   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《基于蒙特卡罗法的MEMS测力计不确定性分析》


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表1给出了测力计在几个典型变形位移处测量值及其均方差和各参数对测量值方差的贡献。为了便于比较,表1列出了文献[1]中在变形位移20μm处的计算结果。可以看出,本文方法的结果与文献[1]吻合非常好,充分说明了该方法的正确性。