《表3 Ni(V)过渡层对靶材背板组件最大残余应力的影响》

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《Al中间层和Ni(V)过渡层对Co/Al/Cu三明治结构靶材背板组件焊接残余应力的影响》

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在靶材背板组件中，为了抑制Co/Al和Cu/Al界面处脆性金属间化合物的生成，通常在Co/Al和Cu/Al界面处添加Ni（V）过渡层[22，23]。本工作用有限元模拟的方法研究了如下3种情况下靶材背板组件的最大残余应力：（I）没有Ni（V）过渡层，只有Al中间层；（II）只在Co/Al之间添加0.3 mm厚的Ni（V）过渡层；（III）在Co/Al和Cu/Al界面处都添加0.3 mm厚的Ni（V）过渡层，如表3和图6所示。从图6可以得出，尽管Ni（V）过渡层的存在能够抑制Co/Al和Cu/Al界面处金属间化合物的生成，但是Ni（V）过渡层的存在也使靶材背板组件的最大残余应力增大[24]。在Co/Al界面处添加Ni（V）过渡层时最大残余应力由124.7 MPa增加到128.7 MPa，残余应力增加幅度较小，而在Co/Al和Cu/Al界面处都添加Ni（V）过渡层时，最大残余应力增加到136.9 MPa，残余应力增加幅度比只在Co/Al界面处添加Ni（V）过渡层时大。因此在实际工业生产中建议只在Co/Al界面处添加Ni（V）过渡层，既能抑制Co/Al之间金属化合物的生成，同时残余应力的增加幅度较小。