《表1 各种离子泵对不同气体抽速表》

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《医科达直线加速器真空部件常见故障及快速解决方案》

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关于真空系统的烘烤（Baking）。为了延长离子泵使用寿命以及提高真空水平，通常会对离子泵进行烘烤，以求更快去除系统中的惰性气体和极性水分子。尽管我们从表1中得到水分子在离子泵中抽速和氮气无差异，但由于水分子为极性分子，粘性大，不易被排除。在高真空（10-3 torr～10-8 torr）环境下，真空系统中气体的70%～90%都是水分子[11]。无烘烤情况下，PAL等[12]研究表明离子泵排除系统内一定水达到一个相对稳定水平需要超过30个小时。祁增凌等[13]在实际维修中也发现系统中存在一定水分子情况下，达到稳定状态需要近2天时间。同时PARK等[14]研究表明，烘烤对真空水平提高以及速度提高有显著作用。医科达直线加速器使用的离子泵，在不带磁体情况下，可以耐受350 oC高温[8]，但是实际情况中，须考虑系统安全，密封圈的特性，一般要适当降低烘烤温度，延长烘烤时间。加速器系统可以通过设置水温报警上限，提高系统温度来适当增加水分子排气速度。对裸露真空管道以及去磁体的离子泵，建议烘烤时温度不超过120 oC。