《表1 在两种不同抽速下三种测试罩的抽速变化量》

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《微型真空泵抽气性能集成自动测量方法的实践研究》

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实验过程中大型测试罩的测试过程耗时较长，甚至能达到几十分钟至一个小时，使微型真空泵性能测量耗费大量时间。中小型容积测试罩达到极限真空的耗时能缩短10到100倍左右，减少了测量时间。