《表1 国外类似装置运行、HL-2A预抽与HL-2M预抽主要真空技术指标表》

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《HL-2M装置真空室预抽气系统的研制》

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如图2所示，HL-2M装置预抽气系统主要由真空抽气机组、设备逻辑控制与信号侧量、水循环冷却和工作气体供应系统等4部分组成。供气与冷却水系统为抽气机组提供必要的工作条件，测量控制系统实现抽气机组设备的控制与信号监测。