《表1 洁净车间室内设计参数》

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《电子工业洁净厂房净化空调系统设计》

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注：OHS：空中走行式穿梭车；STOCKER：卡匣储存搬送；ELA区：准分子激光退火区；MASK：掩膜版。

根据工艺条件及GB50472—2008《电子工业洁净厂房设计规范》[2]和GB50073—2013《洁净厂房设计规范》[3]，洁净车间室内设计干球温度为23℃±2℃，相对湿度为55%±5%，洁净等级及控制粒径如表1所示。