《表1 区域Ⅰ的欧式距离表(0°～150°)》

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《单晶硅晶向对超精密切削粗糙度的影响特性》

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为了分析各测量方向的粗糙度的差异情况，利用SPSS软件对欧式距离进行了计算，区域Ⅰ的欧式距离表列入表1～2中。在欧式距离表中，第一行和第一列为测量方向，表中间的数据为对应的两测量方向的欧式距离数值，数值越大表明这两个方向的粗糙度数值差别越大。这种粗糙度差别是由于单晶硅的晶向导致的。从表中可以看出测量方向90°、210°、240°、330°与其他方向的粗糙度差别较大。结合图7，可以分析出在测量方向60°、180°、270°上粗糙度较小。同理可以分析区域Ⅱ的粗糙度情况并得出相同的结论。因此，测量方向90°、210°、240°、330°对加工粗糙度的影响比较大。所以利用单点金刚石加工单晶硅时，为了获得比较低的表面粗糙度，即比较高的表面质量，应选择在测量方向60°、180°、270°这3个方向上切削。在生产应用中，可以对照硅片的晶体方向，选择粗糙度比较小的切削方向进行切削加工。