《表2 图1(a)中选区能谱分析结果(质量分数)》

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《NiCrAlY涂层与镍基单晶高温合金基体的互扩散行为》

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采用场发射电子显微镜自带的能谱仪对图1（a）中Ni Cr Al Y涂层（区域1）和基体（区域2）区域进行化学元素分析，其结果如表2所示。由EDS结果可知，与基体相比，Ni Cr Al Y涂层中的Cr元素含量较高（涂层和基体中Cr元素质量分数分别为37.65%和6.75%），Ni元素含量相当，Al元素含量较低（涂层和基体中Al元素质量分数分别为3.66%和7.23%）。将获得的沉积态涂层实际成分与其名义成分（表1）对比可知，实际所得的Ni Cr Al Y涂层中元素种类和含量与其名义成分大致吻合，但实际涂层中Al元素的质量分数偏低，不足4%，这可能是由于在沉积过程中基体有负偏压，使得离子在电场中被加速吸引到基体上，但靶材中Al元素相比于其他元素的离化率低，使得Al元素到达基体的概率减小，造成涂层中的Al发生负偏离；另一方面由于Al元素摩尔质量比靶材中的其余元素的小，在沉积过程中离子碰撞损失量大[20]。上述2种因素导致涂层中Al元素含量偏低。