《表1 系统测量结果与参考真值对比》

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《基于单稳频激光的端面距离微尺寸测量方法》

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系统以标称长度为0.500 mm和1.004 mm的量块作为被测对象，各进行10组重复性实验，并使用中国计量科学研究院的线纹基准比长仪测得的量块工作长度作为量块工作长度的参考真值，测得长度的平均值与线纹比长仪测得的结果相差最多为23 nm，见表1。