《表2 标准不确定度分量汇总表》

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《基于单稳频激光的端面距离微尺寸测量方法》

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搭建的系统采用高度稳频的532 nm激光器和频率不确定度水平相对较差的633 nm激光器作为测量光源，利用单稳频激光和图像处理技术作为辅助手段，对干涉条纹的图像进行处理得到被测量块的干涉条纹小数，采用多波长的小数重合法计算量块工作长度L，测量工作长度较小量块的扩展不确定度可以达到U=0.015μm+0.07×10-6L（L单位为mm）。在达到相同或类似不确定度水平的情况下，为降低应用多波长的小数重合法进行端面距离尺寸测量对于光源单色性的要求提供了解决方案。