《表1 Ga As靶标铂电阻温度测量不确定度评估》
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本文对Ga As靶标铂电阻温度的测量不确定度进行了粗略评估，见表1。以100℃温度点为例，（d Rt/dt）t=100=0.340 6Ω/℃。
| 图表编号 | XD00201196200 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2021.01.28 |
| 作者 | 韩伟、刘岩、杜蕾、郑世棋、翟玉卫、梁法国 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
