《表1 粗化前后元素不同价态占比Tab.1 The element ratio of different valence states after roughening》

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《GaP表面粗化对AlGaInP发光二极管光电特性的影响》

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从图中可知，6（a）中Ga元素的结合能峰向高结合能方向偏移0.23eV，观察粗化前后峰的变化形态，存在高低价态且两种价态的占比发生了变化，分析计算峰面积得到不同价态元素的占比，并拟合如图6（b）、6（c），粗化后高价态的Ga占比上升，如表1所示。