《表3 不同阶段质量变化情况》

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《激光推进纳米硼浆在N型高效晶硅电池制作选择性发射极中的应用研究》

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从表2看出，当烘干温度小于5min时，三个时间段硅片和印刷浆料质量变化值分别为0.005和0.006。说明当烘干温度为230℃、烘干时间在5min以下时，纳米硼浆中的有机物和水分没有完全蒸发，随着烘干时间的增加，硅片和纳米硼浆质量有较明显波动。结合表1数据，本实验纳米硼浆的烘干温度确定为230℃，烘干时间确定为5min。后续为了缩短烘干时间可以提高烘干温度。原则上，为了保证纳米硼浆性能不发生变化，烘干温度要低于300℃。利用确定的烘干工艺对剩余的印刷后硅片进行烘干，选择其中的四片将不同阶段质量用分析天平进行测试，测试结果如表3所示。