《表1 工艺设备配置表：涡旋激光阵列产生技术研究进展》

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《涡旋激光阵列产生技术研究进展》

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除此之外，还生成了具有各种拓扑荷数和特殊形状的涡旋光阵列，与传统的涡旋光阵列产生方法相比，这种方法使用的是具有小型化、易于设计和制造的超薄材料，极大地节省了工作空间，在微粒操纵等方面具有更大的潜力。随着纳米技术的发展，基于超材料产生涡旋光阵列的研究[52-55]也越来越多，如通过准Talbot效应设计的超材料来产生光学涡旋阵列[55]。不同的涡旋光阵列产生方法有其相应的优劣性，以上方法优劣性对比如表1所示。