《表2 通入混合气体产生的等离子体参数及样品的净化学侵蚀产额》

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《高通量氢等离子体对CX-2002U碳复合材料的化学侵蚀研究》


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为探究等离子体杂质对氢等离子体侵蚀CX-2002U碳纤维复合材料的影响,在通气流量恒定(1 200sccm)的条件下,分别在氢气中混入少量的氩气(1 128sccm H2+72sccm Ar)、氦气(1 128sccm H2+72sccm He)以产生混合等离子体,经过朗缪尔探针系统的检测得出,混合等离子体的通量均在1023 m-2·s-1这一量级,其具体参数以及样品的净化学侵蚀产额如表2.