《表1 复合型多孔聚酰亚胺介电性能》

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《多孔聚酰亚胺低介电材料研究现状》


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利用上述方法制备的多孔材料,在操作上虽简单方便,但存在的问题较为突出。相比之下,将含有孔洞结构的无机填料引入聚合物基体中来制备PI复合材料是一种更可行的方法。该方法不仅无低分子挥发物产生、无溶剂污染、减少能耗,同时还能实现对纳米孔径尺寸的调控。目前,应用较多的低介电常数填料有二氧化硅、聚倍半硅氧烷(polyhedral oligomeric silsesquioxane,POSS)、沸石等,将其对应合成的复合薄膜相关性能的比较整理于表1。