《表2 原片锡面与空气面成分》

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《离子强化后超薄浮法玻璃翘曲的研究分析》

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离子强化前原片样品的表面成分检测采用带有能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer，EDS）的扫描电子显微镜进行测量，点浓度的采集为玻璃锡面和空气面随机选取多点进行测试，为了去掉绝对误差，数据值进行了归一化处理，根据能谱测试结果，由原子分数换算为质量分数，其结果如表2所示。