《表2 高速光电探测器模型参数》

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《InGaAs/InP台面型pin高速光电探测器》

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2 Model Table parameters of high-speed photodetector

基于上述小信号等效电路模型，分别测试3种样品的S参数和直流参数，并利用软件分别提取其模型参数见表2，对其带宽曲线进行仿真，如图6所示（图中S21为光电探测器的传输系数），读取带宽分别为19.7、23.5和21.0GHz。