《表1 熔融石英、SiC、AlSi基底及Al支撑架材料性能参数》

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《不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响》

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椭球面收集镜三维模型如图2所示，椭球反射面由图1中的椭圆绕着长轴旋转剪切圆柱形基底得到，因此收集镜反射面包括实际抛光镀膜的椭球反射面，以及未抛光镀膜不参与反光的部分。收集镜直径为300mm，边缘厚度为57mm，收集镜固定在厚度为50 mm的Al支撑架上，XY平面内由近似均匀分布的三个装卡垫片固定。Al支架上有两个沿着X方向分布、离中心轴X轴75 mm、直径为10mm的水流通孔，工作时通过水冷方法降低收集镜温度。仿真分析使用的熔融石英、SiC、AlSi合金三种基底以及Al支撑架材料性能参数如表1所示。