《表1 实际圆光栅系统中刻度线精度规范表》
光栅刻线精度用来描述圆光栅系统在圆环上刻划刻度线的准确性,是评估圆光栅系统制造能力的一个指标。刻线精度是在没有受到系统安装干扰的情况下,实际的角度值与圆环读数头读数之间的差值。光栅圆环柱面刻线位置误差可以认为是呈正态分布的,根据(1)式,同样的光栅刻线精度下有相同的数学期望。随着光栅圆盘直径的增大,光栅系统精度更高,误差更小;在光栅圆盘不变时,光栅刻线精度越高,其误差数学期望越小,光栅系统精度越高。表1是实际圆光栅系统中刻度线精度规范表。
图表编号 | XD00188296500 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.09.10 |
作者 | 任曦、杜升平、陈科、王继红 |
绘制单位 | 中国科学院光束控制重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、中国科学院光束控制重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、中国科学院光束控制重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、中国科学院光束控制重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |