《表1 实际圆光栅系统中刻度线精度规范表》

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《圆光栅编码器测角误差源及频谱分析》


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光栅刻线精度用来描述圆光栅系统在圆环上刻划刻度线的准确性,是评估圆光栅系统制造能力的一个指标。刻线精度是在没有受到系统安装干扰的情况下,实际的角度值与圆环读数头读数之间的差值。光栅圆环柱面刻线位置误差可以认为是呈正态分布的,根据(1)式,同样的光栅刻线精度下有相同的数学期望。随着光栅圆盘直径的增大,光栅系统精度更高,误差更小;在光栅圆盘不变时,光栅刻线精度越高,其误差数学期望越小,光栅系统精度越高。表1是实际圆光栅系统中刻度线精度规范表。