《表1 同一母版的不同圆光栅检测结果》

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《反射式计量圆光栅自动检测系统的设计》

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注:该母计量圆光栅板给出的精度误差范围≤10″均匀性误差范围≤5%，检测结果符合这一范围。

为了验证对反射式计量圆光栅自动检测系统的检测重复性，实验对同一母板复制出的多块反射式计量圆光栅进行检测，测试数据如表1所示。