《表3 N2:O2比例为7:20时的漏电分布》

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《一种芯片制造中的玻璃钝化工艺》

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公司在工艺开发过程中，建立了玻璃粉烧结实验DOE，对N2:O2不同浓度比进行优选条件实验，对比不同浓度比条件下的漏电大小，并建立气体比例与漏电模型。本文对优选两种气体比例N2:O2分别为10:3、5:7、7:20时的漏电进行测试，测试结果分别见表1、表2和表3所示。