《表2 模拟加速度与施加电压仿真结果》

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《自检式石英振梁加速度计的极板间距研究》


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由式(5)可得模拟加速度与施加电压的理论关系式。表2为不同间距仿真得到的拟合曲线以及理想静电驱动模型下得到的拟合曲线汇总。