《表1 Si及Si O2的相关参量》

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《激光对CCD毁伤的仿真技术研究》

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此外，激光辐照CCD表面时，激光能量转化为热能，使温度升高[15]，导致探测器的物理性质发生变化。选取尺寸为0.01 m×0.01 m的CCD探测器，以其主要材料Si以及Si O2为研究对象，模拟CCD探测器的损伤机理[16]。Si及Si O2的相关参量如表1所示。