《表2 内部Stain测试条件》

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《TFT-LCD制程中成盒工艺段常见不良浅析》

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Panel内部Stain主要与Inkjet设备涂覆的PI液滴点间距（Dot Pitch）及Coating方向有关。以TFT-FFS型常黑模式，对角线尺寸为23.6 Inch产品为例，我们进行了不同PI Dot Pitch，不同涂覆方向的对比，具体测试Split数据如表2所示。通过对比我们发现，当涂覆Dot Pitch大，沿着数据线方向Coating时，不良发生率最低。我们分析认为，当Dot Pitch小时，液滴密度大，固化过程中相互影响造成扩散速度慢，直接影响了扩散效果，从而造成了不良的发生；另外，考虑到Array基板上的数据线（Data Line）数量远多于栅极线（Gate Line），在各层膜厚段差相同的情况下对PI扩散的阻碍作用相对较大，故沿着Data Line方向进行涂覆较为有利。当然，不同的产品之间设计上存在差异，具体还需要考虑不同产品设计方面的因素。