《表1 仿真所得的最佳电子枪参数》

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《基于XPS的中和电子枪仿真实验》

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通过选择合适的栅极内径、阴栅距等参量，在保证阳极束斑尺寸和阳极电流满足XPS要求的前提下，得到了XPS中和电子枪的最佳结构与电位参数，见表1。电子枪的聚焦能力主要取决于栅极孔径及阴栅距离。当栅极内径为1.6 mm，阴栅距为0.7 mm时，出现理想的电子束聚焦，此时的阳极电流及束斑尺寸符合设计要求，阳极束斑尺寸为1.64 mm×1.64 mm，阳极电流大小为70.1μA。