《表1 融接工艺表:切割用直拉硅芯原料棒工艺特点探讨》

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《切割用直拉硅芯原料棒工艺特点探讨》


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无论是由于直径突变、单晶断棱还是提断等原因导致的硅棒不良,都会使成本大幅增加。在此情况下,根据车间生产实际总结出一套回融接棒工艺。具体工艺过程包括:回融稳温接棒三个阶段,各阶段具体工艺参数,如第40页表1所示。